LTCC基板材料耐酸蚀性能研究

作者：万欢欢; 张为军; 刘卓峰^*; 陈兴宇; 汪丰麟

来源：电子元件与材料, 2018, 37(11): 61-66.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2018.11.011

• 低温共烧陶瓷
• 基板
• 微晶玻璃
• 陶瓷
• 化学镀
• 腐蚀

为适应化学镀工艺实现低成本制备,LTCC基板材料要求具备一定的耐酸性镀液腐蚀能力。本文研究了CaO-B2O3-SiO2、BaO-Al2O3-SiO2/Al2O3、硼硅酸盐玻璃/锂辉石/Al2O3、硼硅酸盐玻璃/堇青石/Al2O3四种LTCC基板材料在HNO3、HCl和H2SO4溶液中的耐酸蚀性能。采用XRD、EDS、SEM、ICP等技术分析了腐蚀后基板的形貌和成分。结果显示基板在强酸溶液的腐蚀下均出现不同程度的孔洞缺陷,腐蚀程度随H+浓度的升高而升高。酸根离子种类对基板的腐蚀影响不大。腐蚀机理主要是基板材料的主晶相与H+的化学反应导致的成分溶蚀。钡长石、硅灰石与H+反应,因此CaO-B2O3-SiO2、BaO-Al2O3-SiO2/Al2O3耐腐蚀性能较差;而锂辉石、Al2O3不与酸发生反应,硼硅酸盐玻璃/锂辉石/Al2O3、硼硅酸盐玻璃/堇青石/Al2O3耐腐蚀性能较好。

• 单位
  国防科技大学