基于泄漏模共振的多层介质膜光栅宽角谱特性实现

作者：汪剑鹏; 晋云霞; 麻健勇; 邵建达; 范正修

来源：Acta Physica Sinica, 2010, (05): 3199-3204.

• 介质膜光栅
• 泄漏模共振
• 匹配层
• 宽角谱 multilayer dielectric grating
• leaky mode resonance
• match layer
• wide angular spectrum

基于泄漏模共振产生多层介质膜光栅(MDG)的-1级高衍射效率的理论,重点分析了产生MDG的-1级宽衍射角谱的物理机理,提出薄匹配层能有效提高MDG的-1级衍射角谱带宽.采用傅里叶模式理论计算MDG的衍射效率,给出了中心波长为1040nm,Littrow角37.9°附近±11°范围内衍射效率大于90%的宽角谱MDG设计结果,且设计参数具有良好的工艺宽容度.

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院上海光学精密机械研究所