一种可低温印刷氧化物绝缘薄膜的制备方法

作者：宁洪龙; 蔡炜; 姚日晖; 陶瑞强; 陈建秋; 朱镇南; 魏靖林; 章红科; 卢宽宽; 彭俊彪

来源：2019-03-13, 中国, CN201910187207.7.

本发明属于薄膜器件制备技术领域,公开了一种可低温印刷氧化物绝缘薄膜的制备方法。将氧化物前驱体材料溶解于良溶剂中,取样进行TG/DSC测试,选取挥发温度、致密化温度＜200℃的墨水,然后进行粘度和张力测试,加入辅助溶剂,调节墨水粘度和张力,再通过TG/DSC测试确定退火温度；通过紫外吸收曲线测试确定最大吸收波段；将所得墨水体系印刷成膜,在确定的退火温度下进行热退火处理,然后采用最大吸收波段的紫外光进行处理,得到氧化物绝缘薄膜。本发明通过一系列有效的测试分析,从物理化学的角度对前驱体、溶剂选择以及后处理参数进行了筛选和优化,获得可低温印刷氧化物绝缘薄膜,对大面积柔性电子设备的发展具有推动作用。

• 单位
  华南理工大学