集束制冷技术应用

作者：乔旭; 付苗苗; 王超; 马帅

来源：内江科技, 2020, 41(12): 40.

本文主要介绍了一种在半导体工艺生产中使用的集束制冷技术,验证了此技术可以很好的适应半导体工艺中的清洗、刻蚀、腐蚀等溶液的恒温控制,并可帮助工艺工程师控制工艺影响因子,提高产品质量。

• 单位
  西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司