基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究

作者：刘世元; 张传维; 沈宏伟; 顾华勇

来源：光谱学与光谱分析, 2009, (04): 935-939.

• 傅里叶变换红外光谱仪
• 红外反射谱
• 动态随机存储器
• 深沟槽结构 FTIR spectrometer
• Infrared reflectance spectrum
• DRAM
• Deep trench structure

提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景。

• 单位
  华中科技大学; 数字制造装备与技术国家重点实验室; 武汉光电国家实验室