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摘要
为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,这种硅微过滤器能有效去除悬液中直径在14μm以上的微粒,且生物兼容性好,结构简单,易于实现片内集成。
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单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院研究生院
为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,这种硅微过滤器能有效去除悬液中直径在14μm以上的微粒,且生物兼容性好,结构简单,易于实现片内集成。
