原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法

作者：陈天星; 张向军; 孟永钢

来源：中国表面工程, 2011, (04): 70-75.

• 原子力显微镜
• 摩擦力标定
• 楔形标定法
• 聚焦离子束刻蚀 atomic force microscopy
• friction calibration
• wedge method
• focused ion beam

原子力显微镜(AFM)摩擦力的标定是利用AFM测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题。传统的Ogletree楔形标定法没有考虑表面黏着力对摩擦力的影响,当载荷较小时,标定出的摩擦因数与真实值相比偏小。文中在Ogletree法的基础上,推导出一种原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法。利用改进楔形法,分别在标准光栅和聚焦离子束刻蚀(FIB)加工出的斜坡样品上对摩擦力进行了标定。试验结果表明,与常用的标准光栅相比,利用聚焦离子束刻蚀出的样品能够得到更多的有效数据,标定结果更为准确。将改进楔形法和Ogletree法的标定结果进行了比较,结果表明,在载荷较低时(<6μN),改进楔形法更为准确;载荷较高...

• 单位
  摩擦学国家重点实验室; 清华大学