时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构(英文)

作者：黄靖清; 张婷婷; 赵猛; 伍峰; 陈中建; 洪理琛; 张雅聪; 鲁文高; 郝一龙

来源：纳米技术与精密工程, 2013, 11(05): 418-423.

DOI：10.13494/j.npe.2013.069

• 加速度计
• 自检测
• 闭环
• 微机电系统 accelerometer
• self-test
• closed-loop
• micro electro mechanical systems

设计了一种针对闭环加速度计的新型自检测结构.详细描述了这种基于电荷注入的自检测功能的原理.针对时分反馈闭环加速度计,从理论上推导了加速度计输出与自检测电压之间的关系,并利用Matlab/Simulink模型进行了验证.基于0.35μm高压CMOS工艺,设计了整个读出电路.测试结果显示,在自检测模式下,输出对自检测电压的灵敏度是0.3 V/V.

• 单位
  北京大学; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室