高纯四氟化硅的制备技术研究进展

作者：缪光武; 张金柯; 白占旗^*; 何双材; 曾群; 胡欣; 刘武灿

来源：浙江化工, 2019, 50(11): 1-5.

• 四氟化硅
• 制备
• 纯化
• 电子气体

四氟化硅是一种有机硅化合物合成材料,被广泛应用于半导体行业,其需求量日益扩大,对其纯度要求也越来越苛刻。本文介绍了四氟化硅常用制备方法及其优缺点,列举了四氟化硅的纯化方法。在实际生产过程中,企业需根据自身实际生产情况选择合理的生产路线,结合制备工艺中杂质种类,选择合适纯化方法,获得高纯四氟化硅产品。

• 单位
  浙江省化工研究院有限公司