一种单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具及其抛光单晶碳化硅的方法

作者：吴喆; 吴昊; 王纯贤; 刘勇; 章凯羽; 汪嘉恒

来源：2019-01-04, 中国, CN201910006450.4.

本发明公开了一种单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具,包括以下重量百分配比的原料：磨料48-75％、增强相1-2％、分散剂0.35-0.75％,余量为多糖结合剂,上述原料制备单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具的方法,具体包括混料、固化、磨具的粘接、磨具的整形四大步骤。基于上述方法制备得到的单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具,本发明还公开了一种抛光单晶碳化硅的方法：磨具与单晶碳化硅接触并产生干式摩擦,摩擦区域环境气氛的氧气分压范围为20Pa～100Pa。通过本发明公开的技术方案,成功制备得到一种环保无毒、制作及抛光加工成本低的单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具,并可实现单晶碳化硅表面的绿色高效抛光。

• 单位
  合肥工业大学