针对现有设备对精密零件同心度测量精度与效率不高的问题,设计了一种基于机器视觉的精密零件同心度测量系统。该系统利用Halcon软件实现算法设计,基于Canny边缘检测,结合双线性插值提取亚像素边缘,采用最小二乘法拟合圆轮廓。在VS2015平台上,Halcon结合C#语言,完成系统界面开发,实现对试件高精度、快速度、非接触的同心度参数检测。实验结果表明:该系统检测精度能达到10μm,能满足当前实际需要。