SEDI新工艺在电子级超纯水制备中的工程应用

作者：尤蒙; 徐畅

来源：硫磷设计与粉体工程, 2023, (05): 12-49.

DOI：10.16341/j.cnki.spbmh.2023.05.003

• 超纯水制备
• 净化工艺
• 反渗透
• 电渗析
• 电子级水

电子级超纯水的水质直接影响产品质量，且需求量巨大。介绍了一种“一级反渗透系统(RO)+超级电去离子(SEDI)”组合的超纯水制备新工艺，该新工艺在主流超纯水制备工艺的基础上，在SEDI装置前端仅用一级RO,进水硬度放宽到5.0 mg/L,SEDI本体电耗仅0.25 kW·h/m3(以产水计),实现了节省初期工程投资、节约土地、减少运行电能消耗及生产高品质超纯水的目的。