采用磁控直流溅射的方法,使用TiO2靶材直接制备二氧化钛纳米薄膜,并在不同温度(500、550或600℃)下进行退火处理。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和紫外可见光分光光度计(UV-VIS)研究了热处理温度对TiO2纳米薄膜性能的影响。结果表明,热处理温度为550℃时TiO2纳米薄膜的光催化性能最佳,紫外光照1h可降解22.90%的罗丹明B溶液。