氢化炉的长期稳定运行是采用热氢化技术进行多晶硅生产的重要保障。氢化炉加热碳棒作为通电加热体,对四氯化硅转化反应提供反应温度。文章通过对其结构、材质进行探讨并加以改进,发现可以达到以下效果:(1)提高加热碳棒的使用寿命;(2)改善接触质量,减少缺相接地故障次数。