三级建模微型机电系统多学科优化设计法

作者：欧彦江; 殷国富; 周长春; 刘丽

来源：制造技术与机床, 2009, (01): 53-57.

• 微型机电系统(MEMS)
• 建模
• 多学科优化设计 MEMS (Micro Electro Mechanical System )
• Modeling
• Multidisciplinary Optimization Design

针对微型机电系统(MEMS)设计所存在的多学科交叉、周期长等问题,以自顶向下的三级建模法为基础,结合多学科优化设计法,提出了基于三级建模的微型机电系统多学科优化设计法。该方法既保持了三级建模法设计效率高的优点,又能够很好地解决MEMS设计中多学科耦合的问题,比较适合复杂MEMS的设计任务,可以进一步提高设计效率。该方法在微加速度计设计中的应用,证明了该方法在MEMS设计中的有效性。

• 单位
  成都电子机械高等专科学校; 四川大学