通过低温溶胶-凝胶技术结合旋涂法制备了掺偶氮苯二氧化钛基有机-无机复合薄膜。研究了不同热处理温度对复合薄膜的表面形貌、传输模式、折射率与厚度和光化学结构特性的影响。结果表明:该复合薄膜在低于300℃的热处理温度时表面光滑致密、折射率可调,是良好的光波导材料。通过测试样品在365 nm紫外光和450 nm可见光照射下的吸光度,研究了复合薄膜的光开关性能。在研究周期内,光开关性能良好,具有一定的抗疲劳性,在光电子学领域具有重要的应用价值。