高速SiC-MOSFET叠层封装结构设计及性能评估

作者：马久欣; 马剑豪; 任吕衡; 余亮^*; 姚陈果; 董守龙

来源：强激光与粒子束, 2023, 1-7.

• 脉冲功率开关
• SiC-MOSFET
• 开关封装结构
• 双脉冲测试
• 开关动态性能

作为脉冲系统的核心部件，开关承担着脉冲成形、功率调制等重要作用，开关通断速度往往决定脉冲上升时间，高速开关是纳秒短脉冲形成的关键。提出一种高速SiC-MOSFET叠层封装结构，整体布局无引线、无外接，具有极低寄生电感。开展了电磁场仿真研究，揭示了脉冲形成过程中封装多介质界面电磁场分布规律，明确了封装结构电磁薄弱环节，为进一步绝缘优化提供指导。搭建双脉冲测试平台，对研制的SiC-MOSFET叠层封装开关与同芯片商用TO-263-7封装开关的动态性能进行测试。结果表明，大电流工况下，所提封装电流开通速度提升48%，关断速度提升50%，开通损耗降低54.6%，关断损耗降低62.8%，实验结果验证了所提叠层封装结构对开关动态性能的改善。

• 单位
  重庆大学