基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究

作者：张良乐; 韩晓泉; 谢婉露; 吴晓斌^*; 方旭晨; 高梓翔; 沙鹏飞; 王魁波

来源：中国激光, 2023, 1-14.

• 极紫外
• 气体放电等离子体光源
• 反射率
• 能量探测
• 归一化

基于用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置，分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响，提出了一种能量归一化的反射率测试方法，并测试了13.5nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结果表明：在相同光源参数下，SXUV100型探测器的极紫外能量探测性能优于AXUV100G型；通过归一化使光能量波动对反射率测试光束的影响因子从6.2%降低到0.64%，多层膜反射镜的峰值反射率的测量重复性从4.34%提高到0.69%，与国外同等实验装置精度相当，实现了高精度反射率测试，可为极紫外光刻机的光学元件提供反射率测试。

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院微电子研究所