nBn型InAsSb探测器的材料及器件研究

作者：周朋; 温涛; 邢伟荣; 刘铭

来源：红外, 2019, 40(11): 7-12.

• nBn结构
• InAsSb
• 高工作温度
• 暗电流

nBn型红外探测器可有效抑制产生--复合电流,进而提高探测器的工作温度。由于制备工艺可移植于III/V族成熟工艺以及存在晶格完全匹配的衬底等优势,InAsSb/AlAsSb材料是nBn型红外探测器的首选。简单介绍了InAsSb/AlAsSb nBn型红外探测器的研究现状、工作原理以及近期的研究成果。通过生长试验实现了良好的材料表面质量、晶体质量和光学性能。相关结果表明,在制备器件时,nBn结构中势垒层的掺杂浓度不应低于8×1016cm-3,否则就不利于减小nBn型器件的暗电流。

• 单位
  华北光电技术研究所