光固化微压印制作微结构阵列成型工艺

作者：赵长松; 贺建芸^*; 李嘉维; 张景慧; 佟金戈; 谢鹏程^*

来源：塑料科技, 2019, 47(01): 48-52.

DOI：10.15925/j.cnki.issn1005-3360.2019.01.007

• 微结构阵列
• 微压印
• 光化学制造
• 光敏材料
• 紫外光固化

研究了一种光固化微压印制作微结构阵列的工艺。常温下,在自制的模板上涂覆自主研制的专用液态光敏材料,用自主研制的光固化微压印设备进行压印,同时通过紫外光照射固化成型,制备出两种表面微结构阵列—六棱柱形微结构阵列和圆柱形微结构阵列,并对所制备的微结构阵列进行了检验。结果表明:光固化微压印制备的微结构单元具有良好的一致性,微结构阵列复制度高、完整性好。该成型工艺具有高效率、低成本、绿色环保的优势,并且能够满足微结构阵列批量化生产的要求。

• 单位
  北京化工大学; 机电工程学院