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摘要
结合气相色谱技术的高温检测在对钻井过程中井下气体的检测等多种应用中具有重要意义。这种情况下，研究者们期望开发出一种对长链烷烃具有高灵敏度的微型检测器。为了满足对基于气相色谱的小型、便携式监测传感器的需求，同时实现低成本、兼容互补金属氧化物半导体（CMOS）制造工艺、微米级尺寸、低功耗以及大批量生产，本文使用了一种涂覆特定聚合物的温补薄膜体声波谐振器（FBAR）。聚合物薄膜的涂覆将FBAR的响应提升了超过一个数量级，并且该检测器能够在100℃以上的环境下工作。本研究展示了一种新型的聚合物涂覆的高频谐振器可作为化学传感器在高温环境下使用，具有响应速度快、检测极限低的特点，有利于油田气体分析等相关应用。
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单位天津大学; 精密测试技术及仪器国家重点实验室
