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摘要
设计了一种基于绝缘体上硅的具有大带宽调谐范围的紧凑型可重构光学滤波器，该滤波器由两级双微环谐振器辅助对称马赫-曾德尔干涉仪结构级联构成，器件的尺寸为60μm×87μm。通过控制微环谐振器的相位，可以实现对滤波器输出带宽和中心波长的调谐。采用时域有限差分方法模拟该器件的性能，仿真结果表明，该滤波器的带宽调谐范围为1.5～5 nm，在调节带宽的过程中滤波器的阻带抑制度大于20 dB，通带损耗为0.73 dB～0.88 dB，同时该滤波器的中心波长调谐范围可以覆盖整个自由光谱范围，并保持3 dB带宽和形状因子基本不变。
