以碳化硅陶瓷材料作为硬脆材料，设置不同划擦深度下的常规划擦方式与超声振动划擦方式测试。研究结果表明：设置超声辅助时发生了法向划擦力的大幅减小。将超声振幅提高到3.1μm时形成了比1.55μm更大程度的切向划擦力降幅。增大切入深度时，划擦力比持续升高，压头发生磨损会引起划擦力比的轻微降低。该研究有助于提高表面机加工效率，对进一步优化加工工艺起到一定的数据支撑意义。
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