140GHz MEMS矩形波导滤波器

作者：赵兴海; 单光存; 郑英彬; 杜亦佳; 陈颖慧; 鲍景富; 苏伟

来源：红外与毫米波学报, 2013, (02): 165-169.

• 波导滤波器
• 太赫兹
• DRIE waveguide filter
• THz
• DRIE

设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺,首次制造出了D波段MEMS波导滤波器.样品测试结果为插入损耗0.4～0.7 dB,中心频率(140±3)GHz,带外抑制为≥18 dB,样品主要技术指标与设计值符合.

• 单位
  中国工程物理研究院电子工程研究所; 香港城市大学; 电子科技大学