微电子洁净厂房的设计分析

作者：林喜云^*

来源：制冷与空调(四川), 2019, 33(01): 25-29.

• 洁净厂房
• 微电子工业

针对某微电子工业厂房项目工程,分析电子工业洁净厂房的净化空调系统设计,以及防排烟系统的设计。同时根据电子洁净厂房工艺设备的参数,简述气体动力系统设计。