集成化高速APD的研究进展

作者：赵彦立^*; 李倩; 张和伟; 丁文强; 余旭镇; 冯旭阳; 林泽标; 田扬; 曾轩

来源：半导体光电, 2022, 43(02): 285-293.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2022031002

• InP集成光子学
• 光通信
• 光电探测器
• 雪崩光电二极管

理论分析了降低雪崩光电二极管(APD)噪声、提高其增益及带宽的一般方法。面向APD综合响应度与带宽之间存在的固有矛盾问题，提出了采用三维纳米化技术降低APD的噪声，以及采用集成光学技术提高APD的响应度的解决方案。在此基础上，从表面等离基元聚光结构与垂直光入射型APD的混合集成、超透镜与垂直光入射型APD的混合集成，以及阵列波导光栅(AWG)与光侧入射倏逝波耦合波导(EC)APD的单片集成等三个方面，综述了集成化高速APD的研究进展，对该领域的发展趋势进行了展望。

• 单位
  华中科技大学