透明导电氧化物材料的研究现状

作者：向光; 王华林

来源：大连交通大学学报, 2013, (05): 94-97+117.

DOI：10.13291/j.cnki.djdxac.2013.05.003

• TCO
• ITO
• ZAO
• IGZO hollow spherical
• calcined kinetics
• popescu method
• Doyle-Ozawa method

阐述了透明导电氧化物材料的研究现状,重点介绍ITO薄膜和靶材的研究进展及ZAO薄膜的研究现状,并就透明导电材料发展的方向及面临的挑战进行了分析讨论.

• 单位
  大连交通大学; 广东凯盛光伏技术研究院有限公司