流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法及制得的AlN生瓷片

作者：郭军; 张浩; 崔嵩; 党军杰; 汤文明; 詹俊; 耿春磊; 史常东

来源：2014-12-10, 中国, CN201410446360.4.

本发明公开了一种流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法,包括AlN多层用生瓷片、浆料制作方法和流延工艺,是将AlN粉体、烧结助剂、分散剂、粘结剂、增塑剂和溶剂搅拌混合均匀,形成浆料,再通过流延的方法制得生瓷片,生瓷片厚度控制在0.300mm以下,所制作的生瓷片能满足多层布线基板制作要求。