铜材料X射线聚焦组合透镜的设计与制作

作者：叶坚; 乐孜纯; 梁静秋

来源：光学技术, 2004, (01): 20-23.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2004.01.006

• 铜材料X射线聚焦组合透镜
• 透镜参数设计
• 准LIGA制作工艺 Cu compound X-ray refractive lens
• structural parameters of the compound lens
• quasi-LIGA technology

铜材料X射线聚焦组合透镜是一种基于折射效应的X射线聚焦元件。简单介绍了组合透镜的设计理论研究结果,并据此对材料作了选择。针对铜材料组合透镜,分析了组合透镜结构参数、X射线工作波长的选择对组合透镜光学性能的影响。在此基础上,设计了组合透镜的结构参数,使其在硬X射线波段具有较好的聚焦性能,并能获得较高的焦斑强度。采用准LIGA技术制作了铜材料X射线组合透镜,给出了部分铜材料X射线组合透镜结构测量结果。