低电压驱动F-P腔可调谐滤波器的仿真和设计

作者：任浩杰; 侯海港; 朱丽慧; 黄清伟

来源：半导体光电, 2020, 41(02): 182-216.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2020.02.007

• F-P腔
• 可调谐滤波器
• 静电驱动
• 桥面形状
• 仿真

利用COMOSL多物理场有限元软件,对无孔、圆形孔、正方形孔、菱形孔四种新型折叠梁形桥面结构Fabry-Perot(F-P)腔可调谐滤波器进行了电压-位移、应力和镜面平整度仿真,以优选最佳的桥面结构。结果显示,在相同驱动电压下,菱形孔桥面的位移最大。同时,桥面达到相同位移时,菱形孔桥面所需的驱动电压最小,并且菱形孔桥面的应力和平整度也能满足滤波器的设计要求。利用Essential Macleod软件对优选出的菱形孔桥面结构滤波器进行了滤波性能分析,结果表明,滤波器在3～5μm的光谱调谐范围内,具有良好的滤波效果,可以满足低电压驱动和宽调谐范围的要求。

• 单位
  上海大学; 江苏大学