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摘要
本发明涉及一种基于PLC的金刚石生长流程控制方法及装置,该控制方法包括步骤：根据抽气流程启动信号、抽气系统中各元件的反馈信号和真空腔体反馈的真空计压力模拟量信号进行抽气流程控制,使真空腔体内的压力达到目标压力；根据工艺流程启动信号、抽气系统各元件的反馈信号和真空腔体反馈的真空计压力模拟量信号进行工艺流程控制,实现金刚石生长控制；根据工艺停止信号、抽气系统各元件的反馈信号和真空计压力模拟量信号进行排气流程控制,使真空腔体内的压力恢复至常压。该控制方法可以使得每个阶段中各个元件保持最后的状态,除流程外的元件闭锁,从而避免人为误操作导致的危险事故发生,进而提高金刚石生长的稳定性和安全性。
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