激光干涉仪线性测量的光路准直调整方法

作者：韩军辉; ***; 赵西佳; 胡亚杰

来源：计量与测试技术, 2018, 45(10): 93-95.

DOI：10.15988/j.cnki.1004-6941.2018.10.032

• 激光干涉仪
• 线性测量
• 光路准直

本文首先概述了XL-80双频激光干涉仪对中国一拖集团有限公司的数控机床的周期检测的必要性和意义,随后简单介绍了XL-80激光干涉仪线性测量硬件配置和工作原理,最后详细介绍了两种激光干涉仪线性测量的光路准直方法。

• 单位
  中国一拖集团有限公司