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摘要
在分析Love波传感器液相质量检测机理的基础上,设计并制作了以36°YXLiTaO3为基底,交联处理的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为波导层的Love波器件。器件的中心频率为118 MHz,插损为-16 dB。通过建立电镀实验模型,实时的检测了在液相中吸附于阴极薄膜上铜的质量,并测试到传感器的灵敏度为-0.387 cm2/g。分析了灵敏度实验值与理论值的差别,进一步提出了改进方案与措施。
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单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院研究生院
