φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究

作者：于旭东; 孙广年; 张会选; 吕进; 王进学; 孙亮

来源：人工晶体学报, 2006, (01): 201-205.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2006.01.046

• 大直径Al2O3晶体
• 温度梯度
• 晶体开裂 large size Al_2O_3 single crystal
• temperature gradient
• crystal cracking

采用单晶提拉炉成功生长出200mm×180mm大尺寸A l2O3晶体。探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸A l2O3晶体的最佳工艺条件。