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摘要
基于衍射现象的高精度光栅是一种常用的光学元件。通过研究衍射尺度下的相位光栅，提出了一种结合菲涅尔衍射和有限时域差分的光栅仿真方法，来仿真光栅的菲涅尔衍射区域内的光场分布情况。在入射光栅处采用有限时域差分计算方法，得到高精度的光场分布，然后在光栅后的近场区域采用菲涅尔衍射计算接收屏处的光场分布。通过结合两种方法解决了介质过渡区域的计算和传播区域有限时域差分计算量大的问题。结果显示接收屏处产生了三个衍射峰。基于有限时域差分算法的特点，此方法同样适用于非规律性的光栅结构，对于非等距光栅以及有制造误差的光栅分析具有普适性。
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