为了提高靶面水平磁感应强度的均匀性，设计了一种内外永久磁铁以“内圆外方，外围圆”的方式排布的圆平面磁控溅射靶阴极结构，并利用COMSOL软件对其磁场进行仿真模拟，再通过实验测量进行验证。实验验证的结果和仿真模拟的结果基本一致。圆平面磁场分布均匀，并且满足溅射磁感应强度为20～50 mT的基本要求，靶材利用率可达40%～50%，而且散热能力得到一定程度的提高。
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