一种微电解池式微流量传感器的研制

作者：张小娟; 吴一辉; 贾宏光; 张平; 王淑荣; 宣明

来源：微细加工技术, 2007, (01): 41-45+55.

• 微流量传感器
• 微电解池
• 微电极
• CFX仿真
• 硅加工工艺 micro-flow sensor
• micro-electrolytic cell
• microelectrode
• CFX simulation
• silicon processing method

基于电解质溶液导电的特性,研制了可测量微升级流量的高灵敏度微电解池式微流量传感器。由电解反应产生的电流大小确定流体流过的时间t,再根据流体流量Q、管道截面积S及液体通过的时间t,即可以得出流过管道的液体量。用流体仿真软件CFX对所设计的器件进行仿真,用微机械加工工艺制作出微管道,并用蒸镀及金属腐蚀的方法制作出微电极。实验表明,所制作的微电解池式微流量传感器符合仿真结果,管道中有无流体时电流变化明显。传感器的灵敏度为蠕动泵的泵速,即1.71μA.s/μL,当蠕动泵的泵速为0.5 r/min时,测得的电流值为10μА。

• 单位
  中国科学院研究生院; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所