针对视觉测量系统中像素当量问题进行了研究。通过分析标定物在不同光照强度下前景区向背景区过度边缘的灰度变化特性,得出边缘位置点的变化规律,采用插值法结合Canny算子进行亚像素精度定验证边缘位置的变化,根据像素当量标定公式分析其随光照强度的变化规律。针对像素当量的变化规律提出误差补偿模型,最后误差补偿验证实验证明所提出的补偿算法的正确性和有效性。