磁控溅射制备GAZO/Ag/GAZO透明导电薄膜及光电性能优化

作者：廖珺晨; 钱芮; 陈冬; 陈海金; 罗国平; 朱伟玲

来源：激光与光电子学进展, 2022, 1-12.

• 薄膜
• 掺杂
• 磁控溅射
• 退火
• 光电性能

采用多源磁控溅射技术在玻璃衬底上制备Ga、Al共掺杂氧化锌(GAZO)/Ag/GAZO透明导电薄膜。对比实验发现通入O_2溅射Ag能够提高薄膜在600-800 nm波段的光透射率。进一步优化后发现，在O_2流量为1.0 sccm的条件下，12 nm的Ag获得连续结构，提升GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能。在空气中经1小时150℃退火处理，GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能和结构性能都得到提升。退火后薄膜方块电阻为8.99Ω/sq,380-780 nm可见光波段平均透射率为98.17%，品质因子高达2260Ω~(-1)。GAZO/Ag/GAZO透明导电薄膜显示出优异的光电性能，有望替代铟锡氧化物薄膜用于光电器件领域。

• 单位
  华南理工大学; 广东石油化工学院