AlN薄膜的研究进展

作者：杨克涛; 陈光辉

来源：山东陶瓷, 2005, (01): 17-21.

• AlN薄膜
• 制备方法
• 性能
• 应用 AlN Thin Films
• Deposition Techniques
• Performance
• Application

AlN薄膜是宽带隙绝缘材料,在热、电、光和机械等方面具有非常良好的综合性能。本文对近些年来AlN薄膜的制备方法和性能研究作了简要的回顾介绍,阐述了AlN薄膜的应用现状及前景

• 单位
  南京航空航天大学; 材料学院