摘要

AlN薄膜是宽带隙绝缘材料,在热、电、光和机械等方面具有非常良好的综合性能。本文对近些年来AlN薄膜的制备方法和性能研究作了简要的回顾介绍,阐述了AlN薄膜的应用现状及前景