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AlN薄膜的研究进展
作者:杨克涛; 陈光辉
来源:
山东陶瓷
, 2005, (01): 17-21.
AlN薄膜
制备方法
性能
应用 AlN Thin Films
Deposition Techniques
Performance
Application
摘要
AlN薄膜是宽带隙绝缘材料,在热、电、光和机械等方面具有非常良好的综合性能。本文对近些年来AlN薄膜的制备方法和性能研究作了简要的回顾介绍,阐述了AlN薄膜的应用现状及前景
单位
南京航空航天大学
; 材料学院
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