磁控溅射WO3薄膜的制备及其NO2气敏特性研究

作者：沈岩柏; 范安锋; 张宝庆; 曹先敏; 魏德洲; 刘文刚; 高淑玲

来源：功能材料, 2015, 46(07): 7118-7121.

• WO3
• 薄膜
• 磁控溅射
• NO2
• 气敏特性

采用直流反应磁控溅射法,在室温条件下通过改变放电气体压强制备出具有不同膜密度的WO3薄膜。结构表征结果表明,由单斜晶WO3纳米颗粒组成的薄膜具有层状结构,随着放电气体压强的增加,膜密度呈下降趋势。气敏特性研究结果表明,由WO3薄膜制备而成的气体传感器在工作温度为200℃时获得对NO2气体的最大灵敏度,并在50300℃的工作温度范围内对NO2气体均展现出良好的气敏特性。在相同的检测条件下,气体灵敏度随着膜密度的减少而增加。

• 单位
  土木工程学院