采用射频溅射法制备了纳米“铁磁金属一半导体基体”Fe-In203颗粒膜,研究了颗粒膜中纳米Fe颗粒的晶格结构和尺度效应.结果表明:Fe-In2O3颗粒膜中纳米Fe颗粒晶格发生畸变,原子间距随颗粒尺寸的减小而增大;纳米Fe颗粒的比饱和磁化强度Ms和Curie温度Tc随颗粒尺寸减小而降低.探讨分析了Fe-In2O3颗粒膜中纳米Fe颗粒的Ms和Tc随颗粒尺寸变化的原因.