相变存储单元的测试平台多为电压测试平台,但是电压操作存在可控性差等问题,直接影响操作过程中的速度和功耗,且芯片中对单元的操作一般为电流操作,基于此,设计搭建了纳秒级电流脉冲测试系统。该系统采用自主研发的高速可编程恒流驱动芯片提供电流脉冲信号,可提供最小宽度为500 ns的电流脉冲信号。利用固定电阻元件对系统进行测试验证,测试结果与理论值基本一致。在此基础上,对相变单元进行测试,得到了完整的测试窗口,且实现了单元测试过程中瞬态电压的提取,进一步验证了系统的可靠性。
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