一种基于光刻打印技术的5G微波陶瓷介质滤波器的研制

作者：刘富海^*; 崔富义; 韩磊挺; 姚舜刚; 方波

来源：固体电子学研究与进展, 2020, 40(05): 356-388.

DOI：10.19623/j.cnki.rpsse.20200903.001

• 微波介质陶瓷
• 滤波器
• 增材制造
• 数字光加工
• 5G通信

基于CST2019三维全波电磁场仿真软件和精确的陶瓷材料立体光刻成形技术,研制了一款可用于5G通信的0.9Al2O3-0.1TiO2微波介质陶瓷滤波器。该介质陶瓷中Al2O3和TiO2摩尔比为9∶1。实验结果表明,0.9Al2O3-0.1TiO2微波陶瓷在1 550℃烧结2 h,1 000℃后退火5 h,具有优异的介电性能,相对介电常数为12.3,品质因子和谐振频率乘积为111 800 GHz,温度系数为1.1×10-6/℃。滤波器的插入损耗和回波损耗的测试结果满足5G通信工程要求。

• 单位
  杭州职业技术学院; 中国计量大学