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摘要
采用旋转喷涂法低温沉积制备NiZn铁氧体薄膜，研究了沉积时间对薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明，随着沉积时间延长，平均晶粒尺寸逐渐增大，(222)方向择优取向先增强后减弱，沉积速率先减小后稳定，随着薄膜厚度逐渐增大，晶粒的柱状结构也越发明显，结晶性能提高。NiZn铁氧体薄膜的饱和磁化强度M_s增高，矫顽力H_c降低，100 MHz的磁导率μ′增大，截止频率f_r从0.32 GHz降低至0.23 GHz。但是无论沉积时间长短，各薄膜均存在磁损耗角正切(μ"/μ′)过高的问题。
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