IMT宣布提供8英寸晶圆MEMS加工服务

来源：智能制造, 2019, (07): 9-10.

<正>Innovative Micro Technology, Inc.(IMT)日前正式宣布:其现已可提供8英寸(200mm)晶圆微电子机械系统(MEMS)工艺加工服务,同时还可以为MEMS行业发展提供丰富的其他资源组合。8英寸晶圆改变了MEMS器件制造的经济指标,每张晶圆可以产出大约为6英寸晶圆两倍数量的器件。为客户提供8英寸晶圆加工服务是IMT目前正在实施