摘要
微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems)简称MEMS,也被叫做微机械、微系统。电子机械系统,具有高响度速度、大行程、高精准等特征,被广泛运用到各个领域中,发挥着至关重要的作用。直线电机不需要借助传动装置进行运动转化,并且具有动子速度大、响应速度快,定位精准度高等优势,可以进一步满足微机电系统对微驱动器的要求。基于此,文章深入研究了微电机系统中永磁直线电机的结构,并提出了优化策略。
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单位山东百特电机电器有限公司