基于半导体仿真软件TCAD设计了一种离子敏感场效应晶体管的模型,首先介绍了离子敏感场效应晶体管的结构及工作原理,其次分析了敏感场效应晶体管在仿真中存在的难题,在此基础上提出了相应的建模方式,最后在TCAD中成功搭建了仿真模型,通过仿真敏感场效应晶体管的灵敏度验证了该模型的准确性,解决了TCAD无法模拟溶液的难题,为离子敏感场效应晶体管的研究开辟了新的道路。
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