本发明公开了一种具有纳米结构的半导体薄膜材料及其制备方法,该材料通过一步脱合金化法制备而成,同时具有纳米纤维和多面体纳米颗粒两种纳米结构。本发明所得半导体薄膜材料不仅自身具有光电流响应、醇类催化特性,而且其比表面积较大、利于载流子传输的特点使其可作为载体材料,在光电探测器、降解有机物、负载型催化剂等领域皆有应用前景。