一种镜面高光洁度的硬质涂层及其制备方法

作者：彭继华; 苏东艺; 梁献文

来源：2019-03-22, 中国, CN201910225220.7.

本发明公开了一种镜面高光洁度的硬质涂层及其制备方法。所述制备方法包括以下步骤：(1)将金属或陶瓷样品进行表面预处理,去除表面污染物；(2)将预处理后的样品固定在真空室的工件托架上,采用离子源获得的惰性气体离子束刻蚀活化样品表面并加热样品；(3)磁控溅射制备厚度为100-300nm金属氮化物过渡镀层；(4)磁控溅射制备厚度为1-5μm的硬质涂层,且采用切入角为50°-80°的惰性气体离子束在线周期性地刻蚀硬质涂层表面,所述硬质涂层为多元合金氮化物硬质涂层或多元合金碳氮化物硬质涂层。该涂层与样品基体结合力高,表面呈镜面,表面凸起物数量和密度低。

• 单位
  华南理工大学